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澳门新萄京PECVD系統采購項目詢價通知書

發布日期:2019年08月20日  作者:  編輯:化工學院  文章點擊量:

 

澳门新萄京項目概況:我校位于貴陽市云巖區蔡關路1號,項目實施地點貴州理工學院內,項目預算為人民幣9.8萬元整。

根據我校實際需要,現擬對下列儀器設備進行詢價采購,歡迎符合資格要求的供應商根據詢價通知書要求進行報價。

1、請報價人注明所供貨物詳細規格、配置,并按標準配置報價,請列明配置清單,若有不含在報價內的選配件請詳細注明,整體成交,該報價必須是最終成交價。貨物的總價應包括交貨前的所有費用:即總價須包括貨款、全部稅金、代理費、運輸、包裝費等。

2、報價人報價時應承諾提供的貨物(含配件)是全新、未使用過的原裝合格正品,開箱合格率為100%,外觀和內在質量都不得有任何問題,軟件必須有授權證書。

3、報價人資格要求:

澳门新萄京(1)必須符合《中華人民共和國政府采購法》中規定的條件;

(2)具有獨立法人資格及與本次采購相應的經營范圍;

(3)交貨時需提交廠家產品質量合格報告;

(4)其他資格要求。

4、保證金:簽訂合同前交付合同總價5%的履約保證金。

5、成交原則:

(1)根據質量和服務均能滿足采購文件實際性響應要求且報價最低的原則;

6、交貨完畢時間:簽訂合同后30個工作日內(安裝調試完成時間)。

7、交貨地點及供貨要求:

(1)報價人必須按采購人要求將貨物送到采購人指定地點后進行驗收;

(2)供貨范圍除包括“詢價報價單”中的設備外,還應包括配套的輔助設備、技術資料(包括操作手冊、使用指南、維修指南或服務手冊等)以及所必需的備品備件品等,負責運輸、安裝并提供相應的技術服務與質量保證;

(3)質保期:報價人提供生產廠家質保期。

8、付款方式:成交供應商按采購人要求將貨物送到指定地點,并經采購人驗收合格后,由采購人按合同約定全額付款,履約保證金轉為質量保證金,一年后,若無質量問題,質保金無息退還。如未能達到合同要求,采購人有權退貨并要求成交供應商賠償損失。

9、供應商報價提交資料報價時應附營業執照、稅務登記證、業績證明(合同)開戶銀行和帳號等相關資格證明文件復印件(加蓋單位公章),質保承諾書(加蓋公章)一份。

10、報價時每一個分項都要報價,如只有總報價沒有分項報價,視為無效報價。

11、詢價采購結果請在我校部門網站主頁的通知公告中查詢。得知成交后,請及時與報價文件接收人聯系簽訂合同事宜。

聯系人:陳麗軍

聯系電話:18892311527

澳门新萄京聯系地址:貴州理工學院1實驗樓505

 

貴州理工學院化工學院

2019年8月20日

 

貴州理工學院化工學院PECVD系統采購清單

序號

設備名稱

規格

數量

價格

合計

備注

1

PECVD系統

設備要求

BTF- 1200C-SL φ50/?60/φ80/φ100

爐管尺寸:φ50/?60/φ80/φ100*1650mm

加熱元件:電阻絲(Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo)

澳门新萄京加熱區長度:400mm

恒溫區長度:200mm

工作溫度:1100℃

最高溫度:1200℃

澳门新萄京控溫方式:模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

控溫精度:±1℃

升溫速率:10℃/min

爐門結構:開啟式

工作電源:AC220V /50HZ

額定功率:5KW

三路供氣系統 GMF-3Z

外形尺寸:600x600x650mm

澳门新萄京連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。

標準量程(N2澳门新萄京):50sccm、200sccm、500 sccm;(量程可選)

準確度:±1.5%

線性:±0.5~1.5%

重復精度:±0.2%

澳门新萄京響應時間:氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa

最大壓力:3MPa

接口:Φ6,1/4''

顯示:液晶屏顯示

工作環境溫度:5~45高純氣體

內外雙拋不銹鋼管:Φ6

澳门新萄京壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥:Φ6

射頻電源與匹配器

電源:單相50/60Hz 220v±10%

加熱(功率)電源:2.5KW,25A

控制柜電源空氣開關:32A空氣開關

薄膜生長室溫度:室溫~ 1200℃

信號頻率:13.56 MHz±0.005%

射頻功率輸出范圍:5~500W

技術參數:

澳门新萄京外型尺寸:600*600*600mm

澳门新萄京空氣相對濕度≤85%,

澳门新萄京工作電電壓:220V±10% 50~60HZ

功率:400W

澳门新萄京抽氣速率:165L/min

極限真空:4X10-2Pa

實驗真空度:1.0X10-1Pa

容油量:1.1L

進氣口口徑:KF25

排氣口口徑:KF25

轉速:1450rpm

噪音:50dB

1套

PECVD是借助于輝光放電等方法產生等離子體,輝光放電等離子體中:電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態物質發生化學反應,從而實現薄膜材料生長的一種新的制備技術。通過反應氣態放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應特征,從根本上改變了反應體系的能量供給方式,低溫熱等離子體化學氣相沉積法具有氣相法的所有優點,工藝流程簡單。

1.與傳統CVD系統比較,生長溫度更低。

2.使用滑軌爐實現快速升溫和降溫。

澳门新萄京3.設備特有的專利技術使得整管輝光均勻等效,均勻生長

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